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碳化硅缺陷检测仪
产品介绍
碳化硅缺陷检测仪(NOVA-2000)，用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测，针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法，对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等各类缺陷进行检出和提取分类，对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。
| 碳化硅缺陷检测仪 | |
| 型号 | NOVA-2000 |
| 品圆 | SiC衬底，外延片 |
| 尺寸 | 4寸，6寸，8寸 |
| 检测效率 | 10WPH(6寸) |
| 上下料方式 | 全自动，2Loadport，1Robot |
| 环境温度 | 20℃~25℃ |
| 环境湿度 | 40%~60% |
| 厂房洁净等级 | 百级及以上无尘车间 |
【智能操作软件】一键式操作软件，自动检测晶圆位置与数量，并进行自动检测。也可选择单片检测，灵活操作。
【高洁净等级】全密封检测环境，全自动传片，无尘微环境设计，保障晶圆检测过程的洁净。
01
【多通道光学检测系统】特殊设计的多通道光学检测系统，实现SiC复杂多样的缺陷在一次运行中完成检测。
02
【实时自动对焦】实时自动对焦，对不同厚度晶圆和翘曲晶圆实现自动对焦和全程跟焦。
03
【缺陷自动检测与分类算法】基于深度学习的缺陷自动检测与分类算法。
如果您对本款产品有意向，想了解更多可以给 我们留言，我们将在第一时间与您联系
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