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多模态表面缺陷检测仪

产品介绍

多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000 ),结合全口径缺陷快速识别与子孔径高峰灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式,对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析,并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域,获取关注区域的缺陷信息。也可以利用微分干涉相衬显微成像技术,实现凸起和凹坑的区分。

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产品参数
多模态表面缺陷检测仪
型号 MMDI-2000
最大样品尺寸 100mmx100mm (L x W),或根据客户需求定制
检测模式 激光散射、光热吸收、显微成像;可根据用户需求定制不同组合模式
缺陷检测灵敏度 ≤0.3μm
光热吸收检测灵敏度 10ppb
光热吸收缺陷检测灵敏度 ≤10μm
光热吸收泵浦光源 355nm、532nm、1064nm或定制波长
显微成像检测横向分辨率 ≤0.5μm
产品特点

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