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光热扫描显微镜

产品介绍

二维光热扫描显微镜(PTM-2000 ),适用于各类固体表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析,特别是各类光学薄膜、光学元器件表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析。本系统是一款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器,可以根据用户需求进行紫外、可见或者近红外波段的精密检 测和分析。三维光热扫描显微镜(PTM3D-2000 ),适用于各类光学元器件及材料体内吸收缺陷的三维检测和分析。本系统是 —款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器。

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产品参数
光热扫描显微镜
产品类别 二维光热扫描显镜 三维光热扫描显微镜
型号 PTM-2000 PTM3D-2000
检测灵敏度 0.1 ppm 0.1 ppm
检测波长 355nm、532nm、1064nm或其他定制波长 355nm、532nm、1064nm或其他定制波长
空间分辨率 亚微米[1] 横向3μm,纵向20μm
样品尺寸 ≤100mm x 100mm x 10mm ( L x W x H ) ≤100mm x 100mm x 10mm ( L x W x H )

*注1 :空间分辨率与检测波长相关

产品特点

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